由于氣體分為單質(zhì)氣體、多元?dú)怏w、混合氣體和有機(jī)化合物氣體等,所以可將組成氣體的物質(zhì)(或元素)稱為該氣體成分。因此氣體純度的含意可理解為:除本氣體成份外,所含其它物質(zhì)的多少。氣體純度的提法有多種,如普通純、高純氣體、電子純、特純等,隨著超大規(guī)模集成電路(VLSI)和特大規(guī)模集成電路(ULSI)的發(fā)展,又有VLSI和ULSI級純的超凈氣體。這些提法都不十分確切,只是粗略的講了氣體純度的高低,沒有真正說明氣體純度的大小。







隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,氮?dú)庠趪窠?jīng)濟(jì)的各行各業(yè)正日益廣泛地應(yīng)用。氮?dú)庵饕米鞅Wo(hù)氣體、吹掃氣體、載氣、干燥氣體等。在金屬熱處理工藝過程中氮?dú)庾鳛楸Wo(hù)氣體,目的是為提高金屬材料、零件的質(zhì)量、光潔度等。在電子工業(yè)中高純氮?dú)馐前雽?dǎo)體集成電路生產(chǎn)工藝不可缺少的保護(hù)氣、載氣。在石化行業(yè)中氮?dú)庾鳛楸Wo(hù)氣、載氣,目的是確保石化生產(chǎn)的順利、安全運(yùn)行,氮?dú)庖彩呛铣砂鄙a(chǎn)的主要原料氣。有的是作保護(hù)氣氛使用,有的是作反應(yīng)源,以及其它特殊用途。

氣體是物質(zhì)的一個態(tài)。氣體與液體一樣是流體:它可以流動,可變形。與液體不同的是氣體可以被壓縮。氣體有實(shí)際氣體和理想氣體之分。理想氣體狀態(tài)方程里有四個變量——?dú)怏w的壓力p、氣體的體積V、氣體的物質(zhì)的量n以及溫度T和一個常量(氣體常為R)。被密封在某種容器中的氣體,其壓強(qiáng)是大量的做無規(guī)則運(yùn)動的氣體分子對容器壁不斷碰撞而產(chǎn)生的。它的大小不是由被封閉氣體的重力所決定的。
